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更新時間：2024-02-23 
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超高純度在線氣體過濾器
全氟聚合物濾芯
電解拋光 316L 不銹鋼外殼
PTFE 元件具有卓的越的耐腐蝕性，并且對大多數(shù)高純度半導體工藝氣體具有出色的兼容性
3 納米粒子過濾能力以最小的壓降保持高流動效率
5Ra 電拋光表面可防止內(nèi)部污染
去離子水清洗后用熱氮氣烘烤，滿足半導體工藝標準
100級制造、清潔和包裝環(huán)境
100% 氦氣泄漏測試
| 材料 | 產(chǎn)品系列 | 額定流量（SLPM） | 連接尺寸 | 連接類型 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D | 316L不銹鋼重熔 | TA | 產(chǎn)品系列 | 50 | 50 每分鐘 | 4 | 1/4" | SW | 樂型 |
| S | 316L不銹鋼 | - | - | 100 | 100 每分鐘 | 6 | 3/8" | 虛擬機 | MFS男型 |
| - | - | - | - | 150 | 150 每分鐘 | 8 | 1/2" | - | - |
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