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關于日本KOFLO產品PI質量流量控制器CST-500的注意事項和使用方法
關于日本KOFLO產品PI質量流量控制器CST-500的注意事項和使用方法
一.注意事項
1.一開始就是
這次,我們非常感謝您購買質量流量設備PI-MFC ST-500。
請您充分閱讀這份使用說明書,并正確使用裝置。
2.使用時的注意事項
(1)關于產品主體的確認事項
您訂購的產品,每臺都按照規(guī)格進行組裝調整。
由于殼體背面的銘牌上記載了使用氣體和流量等,所以與訂單的規(guī)格一致。
請確認一下。
1型號:ST-500
② GAS:流體名
③ FLOW RATE:流量?校正溫度 SCCM = mL/min , SLM = L/min
※SCCM是Standard Cubic Centimeter per Minute的縮寫,通常指0℃狀態(tài)
有
但是,定義為20℃狀態(tài)的行業(yè)也有很多,所以訂購時指的定的流量單位、溫度狀態(tài)
我們正在進行狀態(tài)的調整和描述。如果校準溫度不同,實際流量(質量流量)就大不相同。
所以,請務必確認。
4 CALIB.:校準氣體
4系列編號。:序列號.
(3)關于產品的搬運
為了防止搬運中事故造成的損傷和受傷,產品盡量以本公司出貨的狀態(tài)設置。
請搬到地方。
因為是精密儀器,所以如果是落下等沖擊引起的故障,可能會被排除在保修范圍之外。
(4)關于產品的保管
產品送到手邊后,使用前的保管期長的情況下,意外會發(fā)生故障
我可以考慮。
如果事先預計長期保管,請注意以下項目。
·產品請盡量以本公司出貨的包裝狀態(tài)保管。
·保管場所請選定滿足以下條件的地方。
1沒有雨或水的地方
2沒有振動或沖擊的地方
3保管場所的溫度、濕度為常溫、常濕(25℃、65%RH左右)的場所
4灰塵少的地方
5沒有腐蝕性氣體的地方
6沒有強大電場或磁場的地方
※保管使用過一次的產品時,為了不在流量計主體中殘留測定氣體而清潔的Air或
請務必的用的N2等清除(在反應性高的氣體的情況下,一定要使用惰性氣體而不是Air
請)。另外,請用蓋子等保護測量氣體的出入口側(接頭)不混入垃圾等。
二.使用方法
(1)熱身(暖機)
在氣體壓力不施加到主體的入口側的狀態(tài)下(入口側和出口側的壓差完的全的為零的狀態(tài))下的電源
投入其中。
當動作模式為“全開"或“控制"時,“全閉"或“控制"且“設定流量"
為零“后,請進行15分鐘以上(推薦30分鐘)的熱身(暖機運轉)。
如果不進行熱身使用,流量精度會變差。
※發(fā)貨時設定為全閉模式。
(2)零點調整
本器具有“零敏捷功能"。
按下主體側面的零開關,可以校正零點的偏移。
(3)氣體的導入
確認使用的氣體種類、供給源壓力是否有問題后,請供給氣體。
※請確認供給氣體的壓力是否在使用壓力范圍內(3頁3。仕様 參照)。
※使用反應性高的氣體時,在管內用N2等惰性氣體進行凈化后
請導入煤氣。
(4)氣體的填充
使用Air以外的氣體時,將其吹掃至本機內部或管道內充滿氣體
我需要。
※請對動作模式進行“全開"等處理。
(5)制御
通過網絡進行每個設置,輸入設定值后開始氣體控制。