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技術(shù)文章/ article
概觀2008年,Rigaku創(chuàng)新技術(shù)歐洲有限公司(RITE)成為Rigaku公司的一部分。RITE的主要關(guān)注點是研發(fā)項目,這些項目擴展了Rigaku的X射線光學(xué)系統(tǒng)和探測器,適用于EUV/XUV的硬X射線和軟X射線?;贑CD、sCMOS和PIN二極管的檢測器RITE開發(fā)并制造了CCD和sCMOSX射線成像檢測器,這兩種檢測器都具有市場上最高的空間分辨率。它們被稱為xsightLC和xsightFC檢測器。XSight液晶攝像機xsightLC檢測器包含一個可互換的耦合透鏡,...
緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計,使用小型反射探頭,適用于從實驗室水平到生產(chǎn)過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維護性,可用于過程設(shè)備和生產(chǎn)線管理。最多可同時測量9種類型的透明薄膜。它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點監(jiān)控器。緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過使用EMA理論來判斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。緊湊型光纖探頭可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中膜厚測量0.1nm(3o)的重復(fù)性好可測量多達9層的多層膜厚度使用旋涂機檢測終點的視頻...
特征紅外板厚度監(jiān)視器測量半透明板的厚度,如電池隔板、低反射涂層(如黑色保護層)和硅。它可用于從實驗室水平到生產(chǎn)中在線100%檢測的所有應(yīng)用。紅外吸收系統(tǒng)由一個帶有透射光學(xué)系統(tǒng)的緊湊型鏡面探頭組成,可在100多個波長下同時測量多種參數(shù),如薄膜厚度、密度和成分。1測量半透明板、低反射膜、硅等的厚度。這對于光學(xué)干涉測量來說是很困難的2緊湊型探針通過采用小型30mm反射式探頭,可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線中的狹小空間內(nèi)。此外,由于探頭僅通過光纖電纜連接到主體,因此它具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。3高...
特征晶圓繪圖單元能夠自動繪制厚度達300mm的整個晶圓表面的薄膜厚度測量。自動對準功能、自校準功能和高平整度晶圓夾盤可實現(xiàn)高度可靠的薄膜厚度測量。該裝置與一起使用緊湊型薄膜厚度監(jiān)控器.它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的裝載端口,以控制制造設(shè)備上的薄膜厚度,同時保持清潔度。1高達300mm晶片的自動薄膜厚度繪圖測量是可能的2自動校準功能3自動校準功能4通過采用具有高平整度的晶片卡盤來提高晶片表面的測量可靠性5支持自動化6裝載口安裝測量數(shù)據(jù)示例(等高線圖)鍵合晶片的硅厚度(nm)測量數(shù)...
緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計,使用小型反射探頭,適用于從實驗室水平到生產(chǎn)過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維護性,可用于過程設(shè)備和生產(chǎn)線管理。最多可同時測量9種類型的透明薄膜。它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點監(jiān)控器。緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過使用EMA理論來判斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。1小型光纖探頭[*1]2膜厚測定再現(xiàn)性0.1nm以下(3σ)[*2]6無線對應(yīng)(選配件)[*6]7透射率測量(可選)[*7]8自動映...
以白熾燈為首,還有攝影用閃光燈泡、熒光燈、汽車用和娛樂設(shè)備用的超小型燈泡,閃光燈用氙氣管、鹵素?zé)襞莸龋?0多年來,我們一直為您提供與人們生活息息相關(guān)的“燈光與光明”。今后也會通過各種新價值的創(chuàng)造,滿足更廣泛的客戶需求。高耐久氙氣管。長壽命和連續(xù)發(fā)光,可進行微小發(fā)光。確立了以與以往相同生產(chǎn)率加工比以往氙氣管高耐熱的玻璃材料的技術(shù),實現(xiàn)低成本的高耐久氙氣管。與以往的發(fā)光次數(shù)相比,實現(xiàn)了3倍的長壽命化。用發(fā)光部的冷卻系統(tǒng)連續(xù)發(fā)光次數(shù)大幅提高。通過采用冷卻系統(tǒng)和高耐久氙氣管,可以大幅...
ci-systems黑體輻射源SR-800N擴展面積黑體SR-800N擴展面積黑體擴展區(qū)域黑體控制主機“CI系統(tǒng)”控制大師SR-800N為準確性和一致性樹立了新的標準黑體技術(shù).溫度測量和校準在輻射頭中進行,然后以數(shù)字方式傳輸?shù)紺ontrolMaster控制器。結(jié)果準確、穩(wěn)定、可靠,并且可追蹤NIST(*).系統(tǒng)校準溫度由易于拆卸、用戶可更換的傳感器控制。我們工廠提供的替換傳感器為重新校準系統(tǒng)提供了一種有效的方法,可額外提供12個月的服務(wù)?;蛘?,客戶可以用我們可選的CK-800...
directelectronDE-16直接深測攝像機偵的查照相機光盲傳感器靈活、無縫的觀看在4KX4K的視野中DE-16采用了我們第十代革命性的直接檢測設(shè)備(DDD)傳感器,提供了行業(yè)領(lǐng)的先的分辨率和在4kx4k視場上的靈活、無縫觀看。DE-16擁有6.5微米像素,在廣泛的放大倍率和曝光率范圍內(nèi)實現(xiàn)了卓的越的分辨率(MTF)。DE-16是我們最的通的用的直接檢測TEM相機,具有每秒高達92幀的連續(xù)4kx4k像素流,實現(xiàn)了以前在直接檢測器上不可能實現(xiàn)的TEM實驗。這種靈活性與最...
Blum-NovotestGmbH測量組件測頭TC50|TC60適用于最嚴苛的條件和最短測量時間的大、中型加工中心通用測頭系統(tǒng)?,F(xiàn)代的全方向測量機構(gòu)通過光電方式生成開關(guān)信號,在精度和速度上具有優(yōu)勢。TC50|TC60測頭——以最快3m/min的測量速度獲得更高生產(chǎn)力無磨損地生成光電信號開關(guān)信號通過阻斷微型光柵觸發(fā)與同類測頭相比,測量速度和測量精確度都能明顯提高無磨損且持久穩(wěn)定TC50測頭MesstastermitInfrarotübertragungTC60測頭Messtas...
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